Рассматриваются тенденции развития микро- и наноэлектроники, виды нанотехнологий и перспективы производства наноэлектронных изделий.
Показаны наноизделия, пригодные для внедрения в инфокоммуникационных системах, состояние и перспективы развития микро и наноэлектромеханических систем...
